一 引言

　　在Cz法單晶的制備中，佑鑫石英石英坩堝作為熔硅的載體有著其不可替代的作用。了解石英坩堝的特性和掌握正確的方法對(duì)所有從事單晶制備的每一位從業(yè)人員來(lái)說(shuō)都是非常重要的。

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　　二 石英坩堝的特性（主要介紹熱學(xué)性能和結(jié)晶性能）

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　　1. 熱學(xué)性能：

　　 熱學(xué)性能主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面
　?。?）    它的形變點(diǎn)為1075℃
　　（2）    它的軟化點(diǎn)為1730℃
　?。?）    其最高連續(xù)使用溫度為1100℃，短時(shí)間內(nèi)為1450℃。

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　　2. 結(jié)晶性能

　　（1） 石英坩堝在高溫下具有趨向變成二氧化硅的晶體（方石英）。佑鑫石英這個(gè)過(guò)程稱為再結(jié)晶，也稱為“失透”，通常也稱為“析晶”。

　?。?） 析晶通常發(fā)生在石英坩堝的表層，按照中國(guó)石英玻璃行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定，佑鑫石英半導(dǎo)體工業(yè)用石英玻璃在1400℃±5℃下保溫6小時(shí)，其析晶層的平均厚度應(yīng)為﹤100μm 。

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